根據韓媒 ETNews 報道，三星電子公司正在開(kāi)發(fā)“智能傳感器系統”，用于控制和管理半導體工藝。

圖源：三星/侵刪

　　提高半導體良率的關(guān)鍵點(diǎn)之一是，精確控制半導體生產(chǎn)過(guò)程中等離子體均勻性和密度，而“智能傳感器系統”用于測量晶圓等離子均勻性，準確測量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能，有望提高半導體良率和產(chǎn)能。

　　三星現有的晶圓智能傳感器大部分采購自美國等國外廠(chǎng)商，耗資數千萬(wàn)韓元。而近期對提高產(chǎn)量的需求不斷飆升，倒逼三星轉向自研，降低對外國傳感器的依賴(lài)程度。

　　據了解，三星電子正在開(kāi)發(fā)的智能傳感器是超小型的，不會(huì )對現有設備空間產(chǎn)生重大影響，這意味著(zhù)可以在提高空間利用率的同時(shí)提高產(chǎn)能。

　　據報道，三星電子計劃逐步擴大智能傳感器的開(kāi)發(fā)和應用范圍，其目的不僅限于等離子體，而是開(kāi)發(fā)可用于各種半導體工藝的 SMART 傳感器和系統。

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