據國外媒體報道，5nm 工藝量產(chǎn)已兩年的臺積電，正在推進(jìn) 3nm 工藝的量產(chǎn)事宜，這一制程工藝在去年下半年已風(fēng)險試產(chǎn)，按計劃將在今年下半年大規模量產(chǎn)。

　　而除了 3nm 制程工藝，臺積電也在謀劃更先進(jìn)的 2nm 工藝的量產(chǎn)事宜，這一工藝計劃在 2025 年量產(chǎn)。

　　外媒的報道顯示，臺積電在近期已宣布，他們將投資 340 億美元，推動(dòng) 2nm 制程工藝的量產(chǎn)，他們已經(jīng)獲得了建廠(chǎng)土地的租賃許可。

　　另外，有外媒在報道中表示，臺積電的高層，正在同相關(guān)方，就建設 2nm 制程工藝工廠(chǎng)所需的土地進(jìn)行談判，超過(guò) 90% 的業(yè)主已經(jīng)同意，預計最遲在 6 月份能獲得建廠(chǎng)所需的全部土地。

　　除了土地，臺積電 2nm 制程工藝工廠(chǎng)在廠(chǎng)房的建設方面也需要大量的資金，但花費最多的，預計會(huì )是更高端的極紫外光刻機和其他的先進(jìn)設備。

　　臺積電從第二代的 7nm 工藝開(kāi)始采用極紫外光刻機，隨后量產(chǎn)的 5nm 等先進(jìn)制程工藝，都需要極紫外光刻機，他們也從阿斯麥采購了大量的極紫外光刻機，而更先進(jìn)的 2nm 工藝所需要的將是高數值孔徑極紫外光刻機。

　　阿斯麥已經(jīng)推出的 TWINSCAN NXE:3400B、TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D 極紫外光刻機中，最先進(jìn)的 TWINSCAN NXE:3600D 最高也只能支持 5nm 和 3nm 工藝的量產(chǎn)。

　　而從阿斯麥一季度的財報來(lái)看，他們在今年一季度交付 3 臺極紫外光刻機，營(yíng)收 5.94 億歐元，平均一臺的售價(jià)接近 2 億歐元。未來(lái)推出的支持 2nm 制程工藝的更先進(jìn)的極紫外光刻機，售價(jià)將會(huì )更高。
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